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10KW半導體制程Dummy Load

10KW半導體制程Dummy Load

產(chǎn)品型號：8931-230

簡介：

10KW半導體制程Dummy Load為了使生產(chǎn)過程重復性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要優(yōu)良的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準確性和重復性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機的校準、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

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10KW半導體制程Dummy Load

Termination Load 精密負載為了使生產(chǎn)過程重復性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要**的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準確性和重復性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機的校準、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

10KW半導體制程Dummy Load提供超穩(wěn)定，低VSWR 的，針對發(fā)射機輸出功率配合BIRD 精密功率傳感器進行快速精確測量的負載。當運作在額定區(qū)域時，Dummy Load 負載VSWR 的總變化范圍能夠保持在0.1dB以內(nèi)。

負載針對不同時間長度校準，重復性優(yōu)良且無需預熱。這樣能夠極大減小該項校準的誤差，控制一個更關(guān)鍵的過程變量穩(wěn)定。

粵公網(wǎng)安備 44030402001452號

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