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產(chǎn)品中心

BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:RF Calibration
簡介:

BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,任何環(huán)節(jié)的 可靠性都影響了*終良率。作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一,維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻 電源的應(yīng)用非常廣泛,射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。

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BIRD 半導(dǎo)體 RF 測試

BIRD Semiconductor RF Measurement

 

BIRD Technologies 在射頻行業(yè)的各市場及產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)因可靠性而世界聞名──我們?nèi)硇闹铝τ谔嵘?nbsp;BIRD 產(chǎn)品的可靠性。 

全球范圍內(nèi)設(shè)立有 Bird Service CenterBSC),能夠根據(jù)各國家標(biāo)準(zhǔn)和各企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)修理與校準(zhǔn) BIRD 產(chǎn)品。 BSC 能隨時部署技術(shù)人員,監(jiān)測和排除故障原因,解決任何現(xiàn)場的問題,優(yōu)化客戶方案,滿足客戶的需求。 

 

 

半導(dǎo)體市場

Semiconductor Market


  • 自從等離子體**用于晶片生產(chǎn)過程后,功率測量就一直是半導(dǎo)體制造過程的關(guān)鍵部分。等離子體的 特性非常靈敏,受激勵能量影響較大,而射頻能量直接應(yīng)用于激勵等離子體;
  • 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)包含了生產(chǎn)制造高度集成化電路,包含通過將大量極度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝集成到昂貴的生產(chǎn) 材料上的過程。BIRD 長久以來為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程器件的校準(zhǔn)提供高可靠性的,準(zhǔn)確度在 1%的功率 傳感器及 RF 部件;
  • 相對于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的其他部分,RF 電源雖然體積小但是是極為重要的部分,直接影響等離子體特 性變化以及生產(chǎn)質(zhì)量,因此射頻可靠性在整個環(huán)節(jié)中不可或缺;
  • 生產(chǎn)過程的重復(fù)性對于提高產(chǎn)能和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)材料的利潤至關(guān)重要。BIRD 由于射頻可靠性而聞名, 同時我們也以能提供滿足高重復(fù)性要求的儀器感到自豪。


BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)

BIRD Semiconductor Measurement Solution

BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)

BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)

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