BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:RF Calibration
簡介:BIRD半導(dǎo)體主機臺RF射頻功率量測系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,任何環(huán)節(jié)的 可靠性都影響了*終良率。作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一,維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻 電源的應(yīng)用非常廣泛,射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。
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